参数

规格

型号

FDW系列（低压降型质量流量控制器），可以控制接近大气压压力的流体。最大范围：0~500slpm。

FDS系列（防腐蚀型质量流量控制器），耐化学性质活泼气体的腐蚀，所有范围。

FDE/FDV系列（半导体型质量流量控制器），使用客户规定的半导体标准以获得更好的控制效果，最大范围：0~20slpm。

精度

0.8%（0.4%可选）+0.2%满量程的重复性精度

工作范围

满量程为0.5~100%（量程可调比为200：1）

多气校准

预置98~130种气体

预置气体

纯净无腐蚀性气体、纯净腐蚀性气体、制冷剂气体、呼吸气体、生物反应气体、燃料气体、色谱分析用气、光谱分析用气、焊接气体、氧浓缩气体、堆栈气体。